M-3 手持式四探針電阻測(cè)試儀
上海雙旭M-3 手持式四探針電阻測(cè)試儀
產(chǎn)品概述
上海雙旭M-3為手持式四探針電阻測(cè)試儀，采用經(jīng)典四探針?lè)y(cè)量原理，可快速測(cè)定半導(dǎo)體材料、薄膜、金屬薄層等低阻及中阻樣品的電阻率或方塊電阻。體積小巧，便于現(xiàn)場(chǎng)攜帶與在線檢測(cè)，適用于研發(fā)、生產(chǎn)及質(zhì)量控制場(chǎng)景。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量方法：四探針直線排列（Van der Pauw兼容）
- 測(cè)量范圍：電阻率 10⁻⁴ ~ 10³ Ω·cm；方塊電阻 10⁻³ ~ 10⁵ Ω/□
- 分辨率：0.01 mΩ·cm（電阻率）；0.1 mΩ/□（方塊電阻）
- 精度：±1%讀數(shù) ±2字（標(biāo)準(zhǔn)條件下）
- 探針間距：固定 1.0 mm（可定制其他間距）
- 測(cè)試電流：0.1 μA ~ 100 mA，自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)
- 顯示方式：LCD數(shù)字顯示，帶背光
- 電源：內(nèi)置可充電鋰電池，DC 3.7V，續(xù)航≥8小時(shí)
- 外形尺寸：約180×80×35 mm
- 重量：約300 g（含電池）
- 工作環(huán)境：溫度 0~40℃，濕度 ≤80% RH，無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)干擾
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：可存儲(chǔ)≥200組測(cè)試數(shù)據(jù)，支持USB導(dǎo)出
功能特點(diǎn)
具備自動(dòng)電流換向消除熱電勢(shì)誤差、自動(dòng)溫度補(bǔ)償、一鍵測(cè)試及平均值計(jì)算功能。探針頭耐磨硬質(zhì)合金材質(zhì)，接觸穩(wěn)定，適合多次反復(fù)測(cè)量。支持多種樣品幾何形狀換算，適配晶圓、片材、涂層等不同形態(tài)。
使用注意事項(xiàng)
- 測(cè)量前確保探針與被測(cè)面垂直且均勻接觸，避免傾斜導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏差。
- 樣品表面需平整、清潔、無(wú)氧化層和油污，必要時(shí)用溶劑擦拭并干燥。
- 避免在強(qiáng)電磁場(chǎng)或高頻干擾環(huán)境下使用，防止讀數(shù)跳動(dòng)。
- 不可在潮濕環(huán)境或液體中操作，防止儀器進(jìn)水損壞電路。
- 測(cè)試電流不得超過(guò)樣品承受極限，防止過(guò)熱損傷樣品或探針。
- 長(zhǎng)時(shí)間不使用應(yīng)關(guān)閉電源并存放在干燥處，定期充電維護(hù)電池。
- 探針磨損嚴(yán)重時(shí)應(yīng)及時(shí)更換，保證接觸電阻一致性。
- 更換電池或維修須由專(zhuān)業(yè)人員操作，禁止私自拆解殼體。
- 高阻值樣品測(cè)量時(shí)，注意屏蔽環(huán)境漏電流影響，必要時(shí)使用屏蔽夾具。
- 使用前校準(zhǔn)零點(diǎn)和參考樣，確保測(cè)量準(zhǔn)確性。
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