美國TESCOM無螺紋調(diào)壓器-超高純度減壓型調(diào)壓閥74-3000系列
美國TESCOM 74-3000系列 超高純度減壓型調(diào)壓閥
產(chǎn)品概述
74-3000系列是美國TESCOM品牌下的一款超高純度、無螺紋（VCR®連接）減壓型調(diào)壓閥。該系列專為半導(dǎo)體、分析儀器、高純氣體輸送等對潔凈度和密封性要求極高的關(guān)鍵應(yīng)用而設(shè)計。其無螺紋連接方式有效避免了顆粒物產(chǎn)生和泄漏風(fēng)險，確保系統(tǒng)的高完整性與超高純度。
主要產(chǎn)品參數(shù)
- 系列型號：74-3000系列（具體型號如74-3000-24等，依出口壓力范圍等區(qū)分）
- 連接方式：進口與出口均采用VCR®金屬面密封無螺紋連接（通常為1/4英寸或1/2英寸）
- 主體材質(zhì)：316L不銹鋼
- 膜片材質(zhì)：通常為316L不銹鋼，可選哈氏合金C-276等
- 密封材料：鎳、銀或特殊聚合物（如Kel-F®），適用于超高純和腐蝕性氣體
- 入口壓力（Inlet Pressure）：最高可達3000 psig (約207 bar)
- 出口壓力（Outlet Pressure）：范圍多樣，例如0-25 psig, 0-100 psig等，具體取決于型號
- 流量系數(shù)（Cv值）：較小，適用于精密控制和高純度環(huán)境
- 工作溫度：-40°F 至 +165°F (-40°C 至 +74°C)
- 泄漏率：氦氣泄漏率極低，符合或超越SEMI標準
- 表面處理：電解拋光（EP）處理，降低表面吸附和顆粒物產(chǎn)生
- 適用介質(zhì)：超高純度氣體、特種氣體、腐蝕性氣體（需根據(jù)密封材質(zhì)確認）
產(chǎn)品特點
- 超高純度與潔凈度：全金屬結(jié)構(gòu)、電解拋光及無螺紋連接，最大限度減少顆粒物和出氣。
- 卓越的密封性：VCR®金屬墊圈（如鎳墊圈）提供氣密性密封，確保零泄漏。
- 穩(wěn)定的壓力控制：采用高性能膜片和精密調(diào)壓彈簧，提供精確、穩(wěn)定的出口壓力。
- 廣泛的介質(zhì)兼容性：通過選擇合適的膜片和密封材料，可處理腐蝕性、有毒或反應(yīng)性氣體。
- 緊湊型設(shè)計：結(jié)構(gòu)緊湊，適合空間受限的高純度氣體面板或系統(tǒng)集成。
使用注意事項
- 安裝與連接：必須由經(jīng)過培訓(xùn)的人員，使用專用工具（如VCR扳手）按照正確扭矩安裝VCR接頭。過度擰緊可能導(dǎo)致墊圈或接頭損壞，擰緊不足會導(dǎo)致泄漏。
- 介質(zhì)兼容性確認：使用前務(wù)必確認調(diào)壓閥的所有接觸部件材質(zhì)（主體、膜片、密封件）與所處理的氣體介質(zhì)完全兼容，特別是對于腐蝕性、有毒或自燃氣體。
- 壓力限制：嚴禁超過銘牌標注的最大入口壓力和出口壓力范圍。入口壓力應(yīng)始終高于設(shè)定的出口壓力。
- 凈化與清潔：系統(tǒng)安裝或維護后，必須按照超高純度系統(tǒng)標準程序進行充分的吹掃和凈化，以去除水分、空氣和顆粒污染物。
- 操作環(huán)境：避免在超出規(guī)定溫度范圍的環(huán)境中使用，并保持閥門及周圍環(huán)境清潔，防止污染。
- 維護與檢修：定期進行泄漏檢測和性能檢查。任何拆卸、更換部件或維護工作都必須在潔凈的環(huán)境下由專業(yè)人員進行，并使用原廠或認證的備件。
- 安全防護：對于危險氣體，系統(tǒng)應(yīng)配備適當?shù)耐L(fēng)、安全閥和壓力釋放裝置。操作人員需佩戴合適的個人防護裝備。
- 庫存與備用：不使用時，應(yīng)保持閥門進出口密封，存放于清潔干燥的環(huán)境中。
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