HPS2526 精密方塊電阻測試儀
上海雙旭 HPS2526 精密方塊電阻測試儀
產(chǎn)品概述
HPS2526 是上海雙旭電子推出的高精度方塊電阻測試儀器，主要用于測量半導(dǎo)體材料、薄膜、導(dǎo)電涂層及各類平面導(dǎo)體的方塊電阻（Sheet Resistance），適用于科研、生產(chǎn)質(zhì)量控制及工藝研發(fā)場景。采用四探針法原理，具備高穩(wěn)定性與重復(fù)性，支持多種量程自動切換。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：四探針恒流/恒壓法
- 測量范圍：0.01 Ω/□ ~ 2 MΩ/□
- 分辨率：0.01 Ω/□（低阻段）；1 Ω/□（高阻段）
- 精度：±0.5% 讀數(shù) ±2 字（標(biāo)準(zhǔn)條件下）
- 電流源范圍：10 nA ~ 100 mA（可程控）
- 電壓測量范圍：10 μV ~ 10 V
- 探針間距：1.0 mm（標(biāo)配），可選配 1.27 mm / 2.0 mm
- 測量模式：單次測量、連續(xù)測量、掃描測量
- 數(shù)據(jù)顯示：4½位 LED 顯示或連接 PC 軟件實時曲線
- 通訊接口：RS-232、USB（可選配 GPIB）
- 電源要求：AC 220V ±10%，50/60 Hz，功耗 ≤30 VA
- 工作環(huán)境：溫度 10℃~40℃，濕度 ≤80% RH（無凝露）
- 尺寸/重量：約 360×320×130 mm，4.5 kg
主要功能特性
內(nèi)置自動溫度補償模塊，降低環(huán)境溫漂影響；可存儲多組測量參數(shù)及歷史數(shù)據(jù)；支持多點掃描功能用于樣品均勻性分析；配備校準(zhǔn)程序，保證長期測量一致性。探針頭可更換，適配不同硬度及表面狀況樣品。
使用注意事項
- 測量前確保樣品表面清潔、平整，無油污、灰塵及氧化層，否則會顯著影響結(jié)果。
- 探針接觸壓力需適中，過大易損傷樣品或探針，過小則接觸電阻增加造成誤差。
- 避免在強電磁干擾環(huán)境下使用，必要時采取屏蔽措施，防止讀數(shù)跳動。
- 高阻測量時，注意環(huán)境濕度與絕緣支撐，防止漏電流影響精度。
- 定期用標(biāo)準(zhǔn)電阻片或已知方塊電阻樣板校準(zhǔn)儀器，建議每三個月一次。
- 探針針尖磨損后應(yīng)立即更換，避免因針尖鈍化造成接觸不良。
- 儀器接地必須良好，防止感應(yīng)電壓引入測量回路。
- 長時間不使用時，應(yīng)斷開電源并妥善存放于干燥環(huán)境。
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