HPS5530 多通道方阻測試儀
上海雙旭 HPS5530 多通道方阻測試儀
產(chǎn)品概述：HPS5530 是上海雙旭電子有限公司推出的多通道高精度方阻測試儀，主要用于半導體材料、導電薄膜、金屬涂層及各類電阻膜層的方阻（Sheet Resistance）測量。設(shè)備采用多通道同步采集與獨立校準技術(shù)，適用于生產(chǎn)線快速檢測與實驗室精密分析，支持多種探頭配置和自動掃描功能。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：四探針法（Van der Pauw 兼容）
- 測試通道數(shù)：4/8/16 通道可選（標準配置 8 通道）
- 方阻測量范圍：10⁻⁴ Ω/□ ~ 10⁶ Ω/□
- 測量精度：±0.5%（滿量程，標準條件下）
- 分辨率：0.1 mΩ/□（低阻段），1 Ω/□（高阻段）
- 電流源范圍：10 nA ~ 100 mA（可編程）
- 電壓測量范圍：±200 mV（24 bit ADC）
- 掃描速度：單點 ≤ 50 ms，全通道 ≤ 500 ms（典型值）
- 探頭間距：標準 1 mm，可定制 0.5 / 2 mm
- 通訊接口：RS-232、USB、以太網(wǎng)（TCP/IP）
- 顯示與控制：7" 彩色觸摸屏 + PC 軟件（可選）
- 電源要求：AC 220 V ±10%，50/60 Hz，功耗 ≤ 80 W
- 工作環(huán)境：溫度 10~40℃，濕度 ≤ 80% RH（無結(jié)露）
- 外形尺寸：430(W) × 320(D) × 180(H) mm
- 重量：約 9 kg
主要功能
支持多點陣列自動掃描測量，可存儲 10000 組以上測試數(shù)據(jù)并導出 CSV/Excel；具備溫度補償算法（需外接溫度傳感器）；可切換恒流/恒壓模式；內(nèi)置自診斷與探針接觸檢測；軟件支持 SPC 統(tǒng)計分析及曲線繪制。
使用注意事項
- 儀器須可靠接地，避免電磁干擾影響測量穩(wěn)定性。
- 探針頭為高精密部件，禁止碰撞、刮擦或用力按壓，更換時需使用原廠配件。
- 測量前確保被測樣品表面清潔、平整，無油污、氧化層或異物，否則會導致讀數(shù)偏差。
- 不同阻值范圍需匹配合適的電流檔位，避免過大電流損壞樣品或探頭。
- 高阻測量時注意環(huán)境濕度與屏蔽，防止漏電流影響結(jié)果。
- 嚴禁在易燃易爆氣體環(huán)境中操作，探頭驅(qū)動電路含低壓但需注意電氣安全。
- 長時間不使用時，應斷開電源并存放在干燥防塵環(huán)境，定期通電自檢。
- 校準周期建議每 6 個月或使用 1000 小時進行一次，使用標準電阻片進行驗證。
- 軟件升級或參數(shù)設(shè)置應在廠家指導下進行，避免誤操作導致系統(tǒng)異常。
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