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| 產(chǎn)品詳細(xì) |
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| 產(chǎn)品名稱: |
HPS2663 精密四探針電阻率測試儀 |
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| 產(chǎn)品報價: |
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產(chǎn)品詳細(xì):
HPS2663 精密四探針電阻率測試儀
上海雙旭 HPS2663 精密四探針電阻率測試儀
產(chǎn)品概述:HPS2663 是上海雙旭電子有限公司推出的高精度四探針電阻率測試設(shè)備,專用于半導(dǎo)體材料、金屬薄膜、導(dǎo)電陶瓷、硅片、外延層等薄片及塊體材料的電阻率與方塊電阻測量,具備高穩(wěn)定性與重復(fù)性,適用于科研、生產(chǎn)檢測及質(zhì)量控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理:四探針恒流法(Van der Pauw 兼容)
- 電阻率測量范圍:10⁻⁶~10³ Ω·cm(可擴(kuò)展至更高/低值)
- 方塊電阻測量范圍:10⁻³~10⁶ Ω/□
- 電流源范圍:1 nA~100 mA(程控可調(diào),分辨率可達(dá) pA 級)
- 電壓測量范圍:1 μV~200 mV(24-bit ADC,分辨率 ≤1 μV)
- 測量精度:±0.1%(典型值),溫度漂移<50 ppm/℃
- 探針間距:標(biāo)準(zhǔn) 1.0 mm(可選配 0.5 / 1.5 / 2.0 mm)
- 探針材質(zhì):鎢鋼或鍍金鎢針,耐磨耐腐蝕
- 最大樣品尺寸:厚度≤10 mm,直徑/邊長≤150 mm(依夾具而定)
- 顯示與控制:7 寸彩色觸摸屏 + PC 軟件(USB/RS485 通訊)
- 數(shù)據(jù)存儲:內(nèi)部存儲≥10000 組,支持 U 盤導(dǎo)出 CSV/TXT
- 電源要求:AC 220 V ±10%,50/60 Hz,功耗≤30 W
- 工作環(huán)境:溫度 20±5℃,濕度<70% RH(無結(jié)露)
外形尺寸:約 360×300×180 mm(主機(jī)),重量約 8 kg
主要功能
- 自動識別樣品厚度與形狀,智能選擇計算模型
- 支持四點(diǎn)同面與異面配置切換,兼容 Van der Pauw 方法
- 恒流/恒壓模式可選,防止樣品發(fā)熱影響測量
- 實(shí)時曲線顯示電流-電壓特性,快速判斷接觸狀況
- 多步自動測量及統(tǒng)計功能(均值、標(biāo)準(zhǔn)差、分布圖)
- 用戶校準(zhǔn)程序,支持標(biāo)準(zhǔn)電阻片自校
使用注意事項
- 探針針頭需保持清潔尖銳,避免接觸不良或劃傷樣品表面;定期用專用清潔劑擦拭。
- 測量前確保樣品表面平整、無氧化層或污漬,必要時進(jìn)行研磨或化學(xué)清洗。
- 探針壓力應(yīng)均勻適中,過大易損壞樣品或探針,過小導(dǎo)致接觸電阻不穩(wěn)定。
- 對于高阻樣品,選用較小測試電流,避免漏電流引入誤差;低阻樣品可適當(dāng)增大電流提升信噪比。
- 測試環(huán)境應(yīng)避免強(qiáng)電磁干擾和機(jī)械振動,遠(yuǎn)離大功率電源及變頻器。
- 儀器須預(yù)熱 ≥30 分鐘達(dá)到熱穩(wěn)定后再進(jìn)行測量,保證精度。
- 更換探針或夾具后需重新校準(zhǔn)零點(diǎn)與比例系數(shù)。
- 禁止在潮濕、腐蝕性氣體環(huán)境中長期存放或使用,防止電路受損。
- 非專業(yè)人員勿拆解機(jī)殼,避免高壓及靜電損壞敏感電路。
- 長時間不使用時,請斷開電源并妥善保存于干燥箱或防潮柜內(nèi)。
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