HPS2662 精密四探針電阻率測試儀

上海雙旭 HPS2662 精密四探針電阻率測試儀

產(chǎn)品概述

HPS2662 是一款用于測量半導(dǎo)體材料、金屬薄膜、導(dǎo)電涂層等片狀或塊狀材料電阻率及方塊電阻的精密儀器。采用經(jīng)典四探針法，測量準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好。

產(chǎn)品參數(shù)

• 測量范圍：電阻率：10^-4 ~ 10⁶ Ω·cm；方塊電阻：10^-3 ~ 10⁷ Ω/□。
• 測量精度：優(yōu)于±0.5%。
• 探針間距：通常為1mm（可定制）。
• 探針機(jī)械行程：0 ~ 40mm。
• 電流源：多量程可編程直流電流源。
• 電壓測量：高精度數(shù)字電壓表。
• 顯示與操作：液晶顯示屏，鍵盤控制。
• 數(shù)據(jù)接口：標(biāo)配RS232或USB接口，用于連接計算機(jī)。
• 電源要求：AC 220V ±10%， 50Hz。
• 外形尺寸及重量：約 寬×深×高 300×350×150mm，重量約8kg。

使用注意事項

• 環(huán)境要求：應(yīng)在溫度23±2℃，相對濕度≤65%的無強(qiáng)電磁干擾、無振動的潔凈環(huán)境中使用。
• 樣品準(zhǔn)備：待測樣品表面應(yīng)清潔、平整、無氧化層或污染物，厚度均勻，尺寸滿足探針測量要求。
• 探針維護(hù)：測量前后需檢查探針尖是否清潔、鋒利，四針尖是否共線且間距相等。輕拿輕放，避免探針頭受到撞擊。
• 校準(zhǔn)：定期使用標(biāo)準(zhǔn)電阻樣品對儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量準(zhǔn)確性。
• 操作順序：開機(jī)預(yù)熱至少15分鐘。放置樣品時，應(yīng)先使探針臂升起，樣品放妥后再緩慢、平穩(wěn)地降下探針，避免沖擊。
• 安全：儀器接地必須可靠。更換樣品或進(jìn)行維護(hù)前，務(wù)必關(guān)閉電源。禁止在通電狀態(tài)下觸摸探針針尖或內(nèi)部電路。
• 數(shù)據(jù)解讀：對于超薄膜或極低電阻樣品，需注意修正因子。測量結(jié)果應(yīng)結(jié)合樣品特性（如厚度、均勻性）綜合判斷。
• 存儲：長期不使用時，應(yīng)置于干燥環(huán)境中，并定期通電驅(qū)潮。

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